山东石子刻蚀机

半导体风向标中微公司“小步快跑”：晶圆扩产潮下的刻蚀机

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国产刻蚀设备-中微篇

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刻蚀机主要分类：电容电感两种方式，优势互补. 刻蚀按照被刻蚀材料划分，主要分为硅刻蚀、介质刻蚀以及金属刻蚀。. 不同的刻蚀材质其所使用的的刻蚀机差距较大。. 干法刻蚀的刻蚀机的等离子体生成方式包括CCP（电容耦合）以及ICP（电感耦合山东中建材光子科技有限公司感应耦合等离子体刻蚀机设备采购公开招标公告. （招标编号：ZZFY-2023-04010）. 项目所在地区：山东省，枣庄市，市中区. 一、招标条件. 本中建材光子科技有限公司感应耦合等离子体刻蚀机设备采购已由项目审批/核准/备案山东中建材光子科技有限公司感应耦合等离子体刻蚀机设备

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8 月 18 日山东有研刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目开工仪式

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